Attualmente, la maggior parte delle pellicole dure meccanicamente funzionali (soprattutto le pellicole utilizzate per gli utensili da taglio) nel mondo utilizzano la tecnologia di deposizione ad arco catodico. prestazioni dell'applicazione; in particolare il problema delle particelle dell'apparecchiatura di deposizione ad arco catodico di fabbricazione nazionale è particolarmente grave. L'introduzione della tecnologia di filtrazione magnetica sulla base di questa tecnologia può risolvere il problema delle particelle depositate sulla superficie, ma l'efficienza di deposizione è solo circa 1/10 dell'originale e l'area di deposizione è piccola, quindi il ciclo di produzione è lungo, il costo di produzione è elevato e non è adatto per il rivestimento di massa. applicazioni di produzione. La superficie della pellicola preparata dalla tecnologia di sputtering magnetron è liscia e delicata, la velocità di deposizione è moderata e la pellicola può essere depositata uniformemente in un'ampia area. Tuttavia, la tecnologia di sputtering magnetron ha anche un basso tasso di ionizzazione (generalmente 10%) e il film preparato non è buono come il film preparato dalla tecnologia ad arco catodico in termini di durezza, resistenza all'usura e forza di legame; viene eseguito il rivestimento reattivo chimico. (come TiN, TiO2), a causa della bassa velocità di ionizzazione e della scarsa reattività delle particelle metalliche, è necessario introdurre gas reattivo in eccesso, provocando un avvelenamento (reazione chimica) della superficie bersaglio del magnetron, provocando una serie di valanghe come un forte riduzione della velocità di evaporazione. Di conseguenza, il rivestimento reattivo allo sputtering del magnetron è instabile e incontrollabile.

Pertanto, ci sono macchine multifunzionali di rivestimento sottovuoto ionico sul mercato. Attraverso un gran numero di esperimenti e applicazioni industriali, il progetto è giunto alle seguenti conclusioni:

(1) La macchina di rivestimento ionica multifunzionale progettata con più tecnologie di rivestimento ha successo e le prestazioni complete del sistema di rivestimento consolidato sono in una posizione di leadership in Cina.

(2) L'apparecchiatura può preparare film multistrato simile a diamante e film multistrato composto da azoto metallico (o carbonio) con superficie liscia e densa, superficie liscia e delicata e prestazioni eccellenti su un'ampia area e basso costo.

(3) L'uso di uno speciale strato di transizione intermedio a gradiente multistrato e della tecnologia di drogaggio riduce lo stress interno, migliora la forza di legame film/substrato e favorisce la crescita dello strato di pellicola (fino a 6 mm di spessore).

(4) Il film DLC preparato ha eccellenti proprietà complete: durezza>20GPa (fino a 37,25GPa), spessore regolabile (fino a 6 mm di spessore), forza di legame film/base>50N (fino a 100N), coefficiente di attrito <0,2, il il film è liscio e delicato.

(5) Il rivestimento autolubrificante multistrato a matrice/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC sviluppato, resistente all'usura e al calore, ha buone proprietà complete: la durezza è fino a 28,7 GPa, lo spessore è regolabile da 1-4 mm e il film La forza di legame /base è maggiore di 70 N e il coefficiente di attrito è inferiore a 0,2.

(6) La pellicola sviluppata resistente all'usura e anti-attrito è stata applicata con successo a una varietà di stampi ad alta precisione e componenti chiave di precisione. I risultati dell'applicazione mostrano che l'effetto di rinforzo superficiale dello strato di pellicola è notevole, il che può migliorare notevolmente la qualità del prodotto e la durata.

Macchina per il rivestimento tribologico del metallo dell'acciaio inossidabile

La placcatura ionica multi arco introduce varie modalità di scarica di gas nel campo della deposizione di vapore in condizioni di vuoto. L'intero processo di deposizione di vapore viene eseguito in un processo al plasma. Può essere rivestito non solo sulla superficie di prodotti in metallo, ma anche sulla superficie di prodotti non metallici. Può essere placcato con film metallico, nitruro di titanio, carburo di titanio, nitruro di zirconio, nitruro di cromo, ossido di titanio e altri film.