Macchina di rivestimento sottovuoto per evaporazione e introduzione del principio fisico- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

Evaporazione macchina di rivestimento sottovuoto e introduzione del principio fisico

La macchina di rivestimento sottovuoto per evaporazione è composta principalmente da una camera a vuoto e da un sistema di pompaggio a vuoto. La camera a vuoto contiene una sorgente di evaporazione (cioè un riscaldatore di evaporazione), un substrato e un supporto per substrato, un riscaldatore per substrato, un alimentatore, una navicella di evaporazione e un'asta dell'elettrodo. Il sistema del vuoto comprende il pompaggio grezzo, il pompaggio intermedio, il pompaggio fine, ecc., inclusa la pompa meccanica, la pompa Roots, la pompa a diffusione o la pompa molecolare.

Il materiale di rivestimento è posto nella sorgente di evaporazione nella camera a vuoto. In condizioni di alto vuoto, la sorgente di evaporazione viene riscaldata per farla evaporare. Quando il percorso libero medio delle molecole di vapore è maggiore della dimensione lineare della camera a vuoto, gli atomi e le molecole del vapore della pellicola evaporeranno dalla sorgente di evaporazione. Dopo che la superficie della sorgente è fuoriuscita, è raramente scontrata e ostacolata da altre molecole o atomi e può raggiungere direttamente la superficie del substrato da placcare. A causa della bassa temperatura del substrato, le particelle di vapore del materiale della pellicola si condensano su di esso per formare una pellicola.

Al fine di migliorare l'adesione tra le molecole evaporate e il substrato, il substrato può essere attivato mediante opportuno riscaldamento o pulizia ionica. Il processo fisico del rivestimento per evaporazione sotto vuoto dall'evaporazione del materiale, dal trasporto alla deposizione e alla formazione del film è il seguente:

(1) Utilizzare vari metodi per convertire altre forme di energia in energia termica, riscaldare il materiale del film in modo che evapori o sublimi e diventi particelle gassose (atomi, molecole o gruppi atomici) con una certa energia (0,1~0,3eV):

(2) Le particelle gassose lasciano la superficie del materiale della membrana e vengono trasportate sulla superficie del substrato in linea retta con una velocità di movimento sostanziale senza collisioni;

(3) Le particelle gassose che raggiungono la superficie del substrato si condensano e si nucleano e crescono in una pellicola solida;

(4) Gli atomi che costituiscono il film sottile sono riorganizzati o legati chimicamente.

La macchina di rivestimento sottovuoto quotidiana utilizza la tecnologia di evaporazione per rivestire alluminio, fluoruro di magnesio, oro, argento, ecc., Perché hanno il vantaggio di un basso punto di fusione, che è conveniente per una rapida evaporazione e sublimazione.